로터리베인 진공펌프 개요
루츠 진공 펌프는 펌프 케이싱에 2개의 '8' 모양의 로터를 활용하는 회전식 가변 용량 진공 펌프입니다. 내부적으로 동기 역회전을 수행하여 흡입 및 배기를 완료합니다. 루츠 진공 펌프의 다양한 작동 범위에 따라 대기로 직접 배출하는 저진공 루츠 펌프, 중진공 루츠 펌프(기계식 부스터 펌프라고도 함) 및 고진공 다단계 루츠 펌프로 더 나뉩니다. 일반적으로 루츠 펌프는 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다: 넓은 압력 범위에 걸쳐. 내부의 펌핑 속도가 큽니다. 빠른 시작, 즉시 작업 가능; 추출된 가스에 포함된 먼지와 수증기에 민감하지 않습니다. 로터는 윤활할 필요가 없으며 펌프실에도 윤활이 필요하지 않습니다. 낮은 진동, 우수한 로터 동적 균형 조건, 배기 밸브 장착; 낮은 구동력, 낮은 기계적 마찰 손실; 작은 설치 공간을 갖춘 컴팩트한 구조; 수송
유지관리 비용이 저렴합니다.
루츠 진공펌프의 특징
루츠 진공 펌프는 빠른 시동, 낮은 전력 소모, 낮은 운영 및 유지 비용, 큰 펌핑 속도, 높은 효율성, 펌핑할 가스에 포함된 소량의 수증기와 먼지에 대한 둔감성, 100~1 Pa의 압력 범위 내에서 큰 펌핑 속도, 갑작스러운 가스 제거가 빠른 것이 특징입니다. 이 압력 범위는 오일 밀봉 기계식 진공 펌프와 확산 펌프 사이에 있습니다. 따라서 중간 압력 범위에서 공기 펌핑 용량을 높이기 위해 확산 펌프와 오일 밀봉 기계식 진공 펌프 사이에 직렬로 연결되는 경우가 많습니다. 이때 기계식 부스터 펌프라고도 합니다.
작동 원리
루츠 펌프의 구조가 그림에 나와 있습니다. 펌프 캐비티에는 한 쌍의 평행 샤프트에 수직으로 설치된 두 개의 '8' 모양의 로터가 있으며, 서로 반대 방향으로 동시에 회전하는 변속비가 1인 한 쌍의 기어에 의해 구동됩니다. 로터 사이와 로터와 펌프 케이싱의 내벽 사이에는 일정한 간격이 있어 고속 작동을 실현할 수 있습니다. 루츠 펌프는 내부 압축이 없는 진공 펌프이기 때문에 일반적으로 압축비가 매우 낮으므로 전단 펌프가 필요합니다. 루츠 펌프의 최종 진공도는 펌프 자체의 구조 및 제조 정확도뿐만 아니라 이전 펌프의 최종 진공도에 따라 달라집니다. 펌프의 최종 진공을 향상시키기 위해 루츠 펌프를 직렬로 사용할 수 있습니다.
뿌리 펌프의 작동 원리는 뿌리 송풍기의 작동 원리와 유사합니다. 로터의 지속적인 회전으로 인해 추출된 가스는 흡입구에서 로터와 펌프 하우징 사이의 공간(V0)으로 흡입된 후 배기 포트를 통해 배출됩니다. 흡입 후 V0 공간이 완전히 닫히기 때문에 펌프 공간의 가스가 압축 및 팽창되지 않습니다. 그러나 로터의 상단이 배기 포트의 가장자리를 뒤집어 V0 공간이 배기 측과 연결되면 배기 측의 높은 가스 압력으로 인해 가스의 일부가 V0 공간으로 다시 돌진하여 가스 압력이 갑자기 증가합니다. 로터가 계속 회전하면 가스가 펌프에서 배출됩니다.
