信頼性の高い立型半導体スクリュー真空ポンプ

まとめ

ドライスクリュー真空ポンプは、一対の平行スクリューを使用してポンプハウジング内で同期・高速・逆回転を行うローターです。ローターとポンプ本体の内壁は多数のシール空間を形成します。回転中、吸気と排気の目的を達成するためにガスの連続的な伝達が形成されます。

 

スクリュー真空ポンプは構造がシンプルですが、その加工技術には高い要求が求められます。オイル潤滑やシールを必要とせずにガス伝達を確実に実現し、ガスの逆流を減らすために、ローター間の高さが平行であること、ローター間およびローターとポンプ本体の内壁の間に非常に小さな隙間があり、接触による摩擦がないことを保証する必要があります。

技術的パラメータ

タイプ （空冷シリーズ）	基本パラメータ
	排気速度 (m 3/h)	排気速度 (L/s)	圧力限界 (パ)	電力(kW)	回転数(rpm)	入口口径	出口口径	ポンプヘッド重量 (kg)	ノイズ dB(A)	全体寸法 (長さ*幅*高さ) (mm)
LG-5	5	1.5	≤5	0.37	2720	KF14	KF14	14	≤68	510×200×260
LG-10	10	3	≤5	0.75	2840	KF16	KF16	30	≤68	620×280×300
LG-20	20	6	≤5	1.1	2840	KF25	KF25	45	≤70	770×350×370
LG-30	30	9	≤10	1.5	2850	KF40	KF40	55	≤71	920×440×450
LG-50	50	15	≤10	2.2	2850	KF40	KF40	65	≤72	1080×500×550
LG-70	70	20	≤30	3	2870	KF50	KF40	72	≤72	1100×580×600
LG-80	80	23	≤30	3	2870	KF50	KF40	78	≤72	1180×660×680
LG-90	90	25	≤30	4	2890	KF63	KF50	85	≤73	1250×720×750
LG-100	100	30	≤30	4	2890	KF63	KF50	93	≤73	1310×750×810

空冷ドライスクリュー真空ポンプ

適用範囲

スクリュー真空ポンプは、特にクリーンな真空が要求される分野で、さまざまな業界で広く使用されています。これらの応用分野には次のものが含まれます。

1.半導体産業：スクリュー真空ポンプは半導体製造において重要な役割を果たしており、チップ製造におけるドライエッチングや化学蒸着などの真空プロセスで使用されます。

2.化学産業: 化学産業では、スクリュー真空ポンプは、ガス精製やガス回収などのさまざまな化学反応や分離プロセスに使用されます。

3.医療産業：スクリュー真空ポンプは、CT装置、核磁気共鳴装置などの真空システムなどの医療機器で広く使用されています。

4.研究分野：スクリュー真空ポンプは、材料分析、真空実験などのさまざまな科学研究にも応用されています。

5.食品産業：食品の加工および包装では、食品の衛生と品質を向上させるためにスクリュー真空ポンプが使用されます。

6.製薬業界: スクリュー真空ポンプは製薬業界、特に高レベルの清浄な真空を必要とする生産プロセスでも重要な用途を持っています。

ドライスクリュー真空ポンプの利点

1、クリーンで環境に優しい作業室には潤滑油が含まれておらず、媒体の回収に役立ち、きれいな真空が得られ、油の消費、廃水の排出がなく、環境への汚染がありません。

2、真空度が高く、限界真空度≦1Paで、高真空領域での排気能力が大きい。

3、防食設計はオプションです。流路部品にはチタン、ステンレス、ナノセラミックス、NIP合金等の溶射、防食コーティングを採用しています。

4、凝縮性ガスと微量の粉塵ガスを除去でき、自動パージ装置が設計されています。

5、特殊なシャフトシール設計により、圧送媒体と潤滑油の相互汚染を防ぎます。

6、可変ピッチスクリューポンプはエネルギーを節約し、低騒音です。

7、動作は安定しており、ローターは精密な動的バランステストを受けており、動作振動は小さいです。

8、高構成、ドイツで密封、ベアリング SKF/NSK、ギア グレード 5 研削。

権威のある証明書

高い技術力、優れた設備、ISO9001品質システムに基づいて厳格に管理された製品。