Affidabile pompa per vuoto a vite verticale a semiconduttore

Riepilogo

La pompa per vuoto a vite a secco è un rotore che utilizza una coppia di viti parallele per effettuare una rotazione sincrona, ad alta velocità e inversa nel corpo della pompa. Il rotore e la parete interna del corpo della pompa formano una serie di spazi di tenuta. Durante la rotazione, si forma la trasmissione continua di gas per raggiungere lo scopo di aspirazione e scarico.

 

La pompa per vuoto a vite ha una struttura semplice, ma la sua tecnologia di lavorazione richiede requisiti più elevati. È necessario garantire che l'altezza tra i rotori sia parallela e che tra i rotori e tra i rotori e la parete interna del corpo della pompa vi sia uno spazio molto piccolo e nessun attrito causato dal contatto, in modo da garantire la realizzazione della trasmissione del gas e ridurre il riflusso del gas senza la necessità di lubrificazione e tenuta con olio.

Parametri tecnici

Tipo (serie raffreddata ad aria)	Parametri di base
	Velocità di pompaggio (m 3/h)	Velocità di pompaggio (l/s)	Limite di pressione (Pa)	Potenza (kW)	rivoluzione (rpm)	Calibro di ingresso	calibro di uscita	Peso della testa della pompa (kg)	rumore dB(A)	Dimensioni complessive (lunghezza*larghezza*altezza) (mm)
LG-5	5	1.5	≤5	0.37	2720	KF14	KF14	14	≤68	510x200x260
LG-10	10	3	≤5	0.75	2840	KF16	KF16	30	≤68	620x280x300
LG-20	20	6	≤5	1.1	2840	KF25	KF25	45	≤70	770x350x370
LG-30	30	9	≤10	1.5	2850	KF40	KF40	55	≤71	920x440x450
LG-50	50	15	≤10	2.2	2850	KF40	KF40	65	≤72	1080x500x550
LG-70	70	20	≤30	3	2870	KF50	KF40	72	≤72	1100x580x600
LG-80	80	23	≤30	3	2870	KF50	KF40	78	≤72	1180x660x680
LG-90	90	25	≤30	4	2890	KF63	KF50	85	≤73	1250x720x750
LG-100	100	30	≤30	4	2890	KF63	KF50	93	≤73	1310x750x810

Raffreddamento ad aria Pompa per vuoto a vite a secco

Ambito di applicazione

Le pompe per vuoto a vite sono state ampiamente utilizzate in molteplici settori, soprattutto in aree con elevati requisiti di vuoto pulito. Queste aree di applicazione includono:

1.Industria dei semiconduttori: le pompe per vuoto a vite svolgono un ruolo cruciale nella produzione di semiconduttori, utilizzate nei processi di vuoto come l'incisione a secco e la deposizione di vapori chimici nella produzione di chip.

2.Industria chimica: nell'industria chimica, le pompe per vuoto a vite vengono utilizzate per varie reazioni chimiche e processi di separazione, come la purificazione e il recupero del gas.

3. Industria medica: le pompe per vuoto a vite sono ampiamente utilizzate nelle apparecchiature mediche, come i sistemi di vuoto per macchine CT, macchine per risonanza magnetica nucleare, ecc.

4. Campo di ricerca: le pompe per vuoto a vite vengono applicate anche in varie ricerche scientifiche, come analisi dei materiali, esperimenti sul vuoto, ecc.

5. Industria alimentare: nella lavorazione e nell'imballaggio degli alimenti, le pompe per vuoto a vite vengono utilizzate per migliorare l'igiene e la qualità degli alimenti.

6.Industria farmaceutica: le pompe per vuoto a vite hanno importanti applicazioni anche nell'industria farmaceutica, soprattutto nei processi produttivi che richiedono elevati livelli di vuoto pulito.

I vantaggi delle pompe per vuoto a vite a secco

1、Pulita e rispettosa dell'ambiente, la camera di lavoro è priva di olio lubrificante, il che favorisce un recupero medio, può ottenere un vuoto pulito, nessun consumo di olio, scarico di acque reflue e nessun inquinamento per l'ambiente.

2、Il grado di vuoto è elevato, il grado di vuoto limite è ≤ 1Pa e la capacità di pompaggio nell'area di alto vuoto è elevata.

3, il design anticorrosione è opzionale. Le parti del passaggio del flusso sono realizzate in titanio, acciaio inossidabile, nano ceramica, lega NIP a spruzzo e altri materiali e rivestimenti anticorrosione.

4、Il gas condensabile e una piccola quantità di gas di polvere possono essere rimossi ed è progettato un dispositivo di spurgo automatico.

5, il design speciale della tenuta meccanica previene l'inquinamento reciproco tra il mezzo pompato e l'olio lubrificante.

6, la pompa a vite a passo variabile consente di risparmiare energia ed è silenziosa.

7、Il funzionamento è stabile, il rotore è soggetto a un test di equilibrio dinamico fine e la vibrazione operativa è ridotta.

8、Configurazione alta, sigillato in Germania, cuscinetto SKF/NSK, rettifica ingranaggi grado 5.

Certificato autorevole

Forte forza tecnica, attrezzature eccellenti e prodotti gestiti rigorosamente in conformità con il sistema di qualità ISO9001.