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안정적인 수직형 반도체 스크류 진공 펌프

스크류 진공 펌프는 구조가 간단하지만 처리 기술에 대한 요구 사항이 더 높습니다. 로터 사이의 높이가 평행해야 하며, 로터 사이와 로터 사이와 펌프 본체의 내벽 사이에 매우 작은 간격이 있고 접촉으로 인한 마찰이 없어 가스 전달을 보장하고 오일 윤활 및 밀봉이 필요 없이 가스 역류를 줄여야 합니다. 스크류 진공 펌프는 구조가 간단하지만 처리 기술은 더 높은 요구 사항을 요구합니다. 로터 사이의 높이가 평행해야 하며 로터 사이와 로터 사이와 펌프 본체의 내벽 사이에 매우 작은 간격이 있고 접촉으로 인한 마찰이 없어 오일 윤활 및 밀봉 없이 가스 전달을 실현하고 가스 역류를 줄여야 합니다.

가용성:
수량:
  • 카이엔

요약

건식 스�행 스크류를 사용하여 펌프 하우징에서 동기식, 고속 및 역회전을 수행하는 로터입니다. 로터와 펌프 본체의 내벽은 다수의 밀봉 공간을 형성합니다. 회전하는 동안 가스의 지속적인 전달이 형성되어 흡입 및 배기 목적을 달성합니다.

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스크류 진공 펌프는 구조가 간단하지만 처리 기술은 더 높은 요구 사항을 요구합니다. 로터 사이의 높이가 평행해야 하며 로터 사이와 로터 사이와 펌프 본체의 내벽 사이에 매우 작은 간격이 있고 접촉으로 인한 마찰이 없어 오일 윤활 및 밀봉 없이 가스 전달을 실현하고 가스 역류를 줄여야 합니다.


기술적인 매개변수

종류
(공냉식 시리즈)

기본 매개변수


펌핑 속도
(m 3/h)

펌핑 속도
(L/s)

압력 제한

(아빠)

전력(kW)

회전수(rpm)

입구 구경

콘센트 구경

펌프 헤드 중량
(kg)

소음

데시벨(A)

전체 치수
(길이*가로*높이)
(mm)

LG-5

5

1.5

≤5

0.37

2720

KF14

KF14

14

≤68

510x200x260

LG-10

10

3

≤5

0.75

2840

KF16

KF16

30

≤68

620x280x300

LG-20

20

6

≤5

1.1

2840

KF25

KF25

45

70 이하

770x350x370

LG-30

30

9

≤10

1.5

2850

KF40

KF40

55

71 이하

920x440x450

LG-50

50

15

≤10

2.2

2850

KF40

KF40

65

72 이하

1080x500x550

LG-70

70

20

≤30

3

2870

KF50

KF40

72

72 이하

1100x580x600

LG-80

80

23

≤30

3

2870

KF50

KF40

78

72 이하

1180x660x680

LG-90

90

25

≤30

4

2890

KF63

KF50

85

73 이하

1250x720x750

LG-100

100

30

≤30

4

2890

KF63

KF50

93

73 이하

1310x750x810

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공냉식 건식 스크류 진공 펌프


적용범위

스크류 진공 펌프는 다양한 산업 분야, 특히 깨끗한 진공에 대한 요구 사항이 높은 분야에서 널리 사용되었습니다. 이러한 적용 분야는 다음과 같습니다.

1.반도체 산업: 스크류 진공 펌프는 칩 제조의 건식 에칭 및 화학 기상 증착과 같은 진공 공정에 사용되는 반도체 생산에서 중요한 역할을 합니다.

2.화학 산업: 화학 산업에서 스크류 진공 펌프는 가스 정화 및 가스 회수와 같은 다양한 화학 반응 및 분리 공정에 사용됩니다.

3. 의료 산업: 스크류 진공 펌프는 CT 기계용 진공 시스템, 핵 자기 공명 기계 등과 같은 의료 장비에 널리 사용됩니다.

4. 연구 분야: 스크류 진공 펌프는 재료 분석, 진공 실험 등과 같은 다양한 과학 연구에도 적용됩니다.

5. 식품 산업: 식품 가공 및 포장에서 스크류 진공 펌프는 식품의 위생과 품질을 향상시키는 데 사용됩니다.

6. 제약 산업: 스크류 진공 펌프는 제약 산업, 특히 높은 수준의 청정 진공이 필요한 생산 공정에서 중요한 응용 분야를 가지고 있습니다.


건식 스크류 진공 펌프의 장점

1, 깨끗하고 환경 친화적인 작업실에는 윤활유가 없으므로 매체 회수에 도움이 되며 깨끗한 진공을 얻을 수 있고 오일 소비가 없으며 폐수 배출이 없으며 환경 오염이 없습니다.

2, 진공도가 높고, 한계 진공도가 1Pa 이하이며, 고진공 영역의 펌핑 용량이 큽니다.

3, 부식 방지 디자인은 선택 사항입니다. 유로 부분은 티타늄, 스테인레스 스틸, 나노 세라믹, 스프레이 NIP 합금 및 기타 재료 및 부식 방지 코팅으로 만들어집니다.

4, 응축성 가스 및 소량의 먼지 가스를 제거할 수 있으며 자동 퍼지 장치가 설계되었습니다.

5, 특수 샤프트 씰 설계는 펌핑 매체와 윤활유 사이의 상호 오염을 방지합니다.

6, 가변 피치 스크류 펌프는 에너지를 절약하고 소음이 적습니다.

7, 작동이 안정적이고 로터가 미세한 동적 균형 테스트를 거치며 작동 진동이 작습니다.

8, 독일에서 밀봉된 높은 구성, SKF/NSK 베어링, 기어 등급 5 연삭.


신뢰할 수 있는 인증서

강력한 기술력, 우수한 장비, 제품은 ISO9001 품질 시스템에 따라 엄격하게 관리됩니다.

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zhengshu002


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