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Zuverlässige vertikale Halbleiter-Schraubenvakuumpumpe

Die Schraubenvakuumpumpe ist zwar einfach aufgebaut, ihre Verarbeitungstechnologie stellt jedoch höhere Anforderungen. Es muss sichergestellt werden, dass die Höhe zwischen den Rotoren parallel ist und dass zwischen den Rotoren und zwischen den Rotoren und der Innenwand des Pumpenkörpers ein sehr kleiner Spalt und keine durch Kontakt verursachte Reibung vorhanden ist, um die Realisierung der Gasübertragung sicherzustellen und den Gasrückfluss zu reduzieren, ohne dass eine Ölschmierung und -abdichtung erforderlich ist. Die Schraubenvakuumpumpe hat einen einfachen Aufbau, ihre Verarbeitungstechnologie stellt jedoch höhere Anforderungen. Es muss sichergestellt werden, dass die Höhe zwischen den Rotoren parallel ist und dass zwischen den Rotoren und zwischen den Rotoren und der Innenwand des Pumpenkörpers ein sehr kleiner Spalt und keine durch Kontakt verursachte Reibung bestehen, um die Realisierung der Gasübertragung sicherzustellen und den Gasrückfluss zu reduzieren, ohne dass eine Ölschmierung und -abdichtung erforderlich ist.

Verfügbarkeit:
Menge:
  • Kaien

Zusammenfassung

Die Trockenschrauben-Vakuumpumpe ist ein Rotor, der mithilfe eines Paares paralleler Schrauben eine synchrone Hochgeschwindigkeits- und Rückwärtsdrehung im Pumpengehäuse ermöglicht. Der Rotor und die Innenwand des Pumpenkörpers bilden mehrere Dichträume. Während der Rotation entsteht eine kontinuierliche Gasübertragung, um den Zweck des Ansaugens und Absaugens zu erreichen.

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Die Schraubenvakuumpumpe ist zwar einfach aufgebaut, ihre Verarbeitungstechnologie stellt jedoch höhere Anforderungen. Es muss sichergestellt werden, dass die Höhe zwischen den Rotoren parallel ist und dass zwischen den Rotoren und zwischen den Rotoren und der Innenwand des Pumpenkörpers ein sehr kleiner Spalt und keine durch Kontakt verursachte Reibung bestehen, um die Realisierung der Gasübertragung sicherzustellen und den Gasrückfluss zu reduzieren, ohne dass eine Ölschmierung und -abdichtung erforderlich ist.


Technische Parameter

Typ
(luftgekühlte Serie)

Grundparameter


Saugvermögen
(m 3/h)

Saugvermögen
(L/s)

Druckgrenze

(Pa)

Leistung (kW)

Umdrehung (U/min)

Einlasskaliber

Auslaufkaliber

Gewicht des Pumpenkopfes
(kg)

Lärm

dB(A)

Gesamtabmessungen
(Länge*Breite*Höhe)
(mm)

LG-5

5

1.5

≤5

0.37

2720

KF14

KF14

14

≤68

510x200x260

LG-10

10

3

≤5

0.75

2840

KF16

KF16

30

≤68

620x280x300

LG-20

20

6

≤5

1.1

2840

KF25

KF25

45

≤70

770x350x370

LG-30

30

9

≤10

1.5

2850

KF40

KF40

55

≤71

920x440x450

LG-50

50

15

≤10

2.2

2850

KF40

KF40

65

≤72

1080x500x550

LG-70

70

20

≤30

3

2870

KF50

KF40

72

≤72

1100x580x600

LG-80

80

23

≤30

3

2870

KF50

KF40

78

≤72

1180x660x680

LG-90

90

25

≤30

4

2890

KF63

KF50

85

≤73

1250x720x750

LG-100

100

30

≤30

4

2890

KF63

KF50

93

≤73

1310x750x810

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Luftkühlung. Trockene Schraubenvakuumpumpe


Anwendungsbereich

Schraubenvakuumpumpen werden in zahlreichen Branchen häufig eingesetzt, insbesondere in Bereichen mit hohen Anforderungen an ein sauberes Vakuum. Zu diesen Anwendungsbereichen gehören:

1.Halbleiterindustrie: Schraubenvakuumpumpen spielen eine entscheidende Rolle in der Halbleiterproduktion und werden in Vakuumprozessen wie Trockenätzen und chemischer Gasphasenabscheidung bei der Chipherstellung eingesetzt.

2. Chemische Industrie: In der chemischen Industrie werden Schraubenvakuumpumpen für verschiedene chemische Reaktionen und Trennprozesse eingesetzt, beispielsweise zur Gasreinigung und Gasrückgewinnung.

3.Medizinische Industrie: Schraubenvakuumpumpen werden häufig in medizinischen Geräten eingesetzt, beispielsweise in Vakuumsystemen für CT-Geräte, Kernspinresonanzmaschinen usw.

4. Forschungsgebiet: Schraubenvakuumpumpen werden auch in verschiedenen wissenschaftlichen Forschungen eingesetzt, wie z. B. Materialanalysen, Vakuumexperimenten usw.

5. Lebensmittelindustrie: In der Lebensmittelverarbeitung und -verpackung werden Schraubenvakuumpumpen eingesetzt, um die Hygiene und Qualität von Lebensmitteln zu verbessern.

6.Pharmazeutische Industrie: Schraubenvakuumpumpen finden auch in der pharmazeutischen Industrie wichtige Anwendungen, insbesondere in Produktionsprozessen, die ein hohes Maß an sauberem Vakuum erfordern.


Die Vorteile trockener Schraubenvakuumpumpen

1、Sauber und umweltfreundlich, die Arbeitskammer ist frei von Schmieröl, was der Medienrückgewinnung förderlich ist, ein sauberes Vakuum, keinen Ölverbrauch, keinen Abwasserabfluss und keine Umweltverschmutzung ermöglicht.

2、Der Vakuumgrad ist hoch, der Grenzvakuumgrad beträgt ≤ 1 Pa und die Pumpkapazität im Hochvakuumbereich ist groß.

3、Das Korrosionsschutzdesign ist optional. Die Strömungskanalteile bestehen aus Titan, Edelstahl, Nanokeramik, gespritzter NIP-Legierung und anderen Materialien sowie Korrosionsschutzbeschichtungen.

4、Das kondensierbare Gas und eine kleine Menge Staubgas können entfernt werden, und es ist eine automatische Spülvorrichtung vorgesehen.

5、Das spezielle Design der Wellendichtung verhindert eine gegenseitige Verschmutzung zwischen Fördermedium und Schmieröl.

6、Schraubenpumpe mit variabler Steigung spart Energie und ist geräuscharm.

7、Der Betrieb ist stabil, der Rotor wird einem feindynamischen Auswuchttest unterzogen und die Betriebsvibrationen sind gering.

8、Hohe Konfiguration, in Deutschland versiegelt, SKF/NSK-Lager, Zahnradschliff der Güteklasse 5.


Maßgebliches Zertifikat

Starke technische Stärke, hervorragende Ausrüstung und Produkte, die streng nach dem ISO9001-Qualitätssystem verwaltet werden.

zhengshu001

zhengshu002


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Shandong Kaien Vakuumtechnologie Co., Ltd.

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