Usaldusväärne vertikaalne kruviga pooljuhtvaakumpump

Kokkuvõte

Kuivkruviga vaakumpump on rootor, mis kasutab pumba korpuses sünkroonseks, kiireks ja vastupidiseks pöörlemiseks paari paralleelseid kruvisid. Rootor ja pumba korpuse sisesein moodustavad rea tihendusruume. Pöörlemise ajal moodustub gaasi pidev ülekanne, et saavutada imemise ja väljalaske eesmärk.

 

Kruvivaakumpump on lihtsa ehitusega, kuid selle töötlemistehnoloogia nõuab kõrgemaid nõudeid. See peab tagama, et rootorite vaheline kõrgus on paralleelne ning rootorite ning rootorite ja pumba korpuse siseseina vahel on väga väike vahe ja kontaktist põhjustatud hõõrdumine puudub, et tagada gaasiülekande teostamine ja vähendada gaasi tagasivoolu, ilma et oleks vaja õli määrida ja tihendada.

Tehnilised parameetrid

Tüüp (õhkjahutusega seeria)	Põhiparameetrid
	Pumpamiskiirus (m 3/h)	Pumpamiskiirus (l/s)	Rõhu piirang (Pa)	Võimsus (kW)	pööre (rpm)	Sisselaske kaliiber	väljalaskeava kaliiber	Pumba pea kaal (kg)	müra dB(A)	Üldmõõt (pikkus*laius*kõrgus) (mm)
LG-5	5	1.5	≤5	0.37	2720	KF14	KF14	14	≤68	510x200x260
LG-10	10	3	≤5	0.75	2840	KF16	KF16	30	≤68	620x280x300
LG-20	20	6	≤5	1.1	2840	KF25	KF25	45	≤70	770x350x370
LG-30	30	9	≤10	1.5	2850	KF40	KF40	55	≤71	920x440x450
LG-50	50	15	≤10	2.2	2850	KF40	KF40	65	≤72	1080x500x550
LG-70	70	20	≤30	3	2870	KF50	KF40	72	≤72	1100x580x600
LG-80	80	23	≤30	3	2870	KF50	KF40	78	≤72	1180x660x680
LG-90	90	25	≤30	4	2890	KF63	KF50	85	≤73	1250x720x750
LG-100	100	30	≤30	4	2890	KF63	KF50	93	≤73	1310x750x810

Õhkjahutus Kuivkruviga vaakumpump

Rakenduse ulatus

Kruvivaakumpumpasid on laialdaselt kasutatud paljudes tööstusharudes, eriti piirkondades, kus on kõrged nõuded puhtale vaakumile. Need rakendusvaldkonnad hõlmavad järgmist:

1. Pooljuhtide tööstus: kruvivaakumpumbad mängivad pooljuhtide tootmises otsustavat rolli, mida kasutatakse vaakumprotsessides, nagu kuivsöövitus ja keemiline aurustamine-sadestamine kiibi valmistamisel.

2. Keemiatööstus: keemiatööstuses kasutatakse kruvivaakumpumpasid mitmesuguste keemiliste reaktsioonide ja eraldusprotsesside jaoks, nagu gaasi puhastamine ja gaasi taaskasutamine.

3. Meditsiinitööstus: kruvivaakumpumpasid kasutatakse laialdaselt meditsiiniseadmetes, nagu CT-masinate vaakumsüsteemid, tuumamagnetresonantsmasinad jne.

4. Uurimisvaldkond: kruvivaakumpumpasid kasutatakse ka erinevates teadusuuringutes, nagu materjalianalüüs, vaakumkatsed jne.

5. Toiduainetööstus: toiduainete töötlemisel ja pakendamisel kasutatakse kruvivaakumpumpasid toidu hügieeni ja kvaliteedi parandamiseks.

6. Farmaatsiatööstus: kruvivaakumpumpadel on olulised rakendused ka farmaatsiatööstuses, eriti tootmisprotsessides, mis nõuavad kõrgel tasemel puhast vaakumit.

Kuivkruviga vaakumpumpade eelised

1、Puhas ja keskkonnasõbralik, töökamber ei sisalda määrdeõli, mis soodustab keskmise taastumist, võib saada puhta vaakumi, õli ei tarbita, heitvett ei juhita ega saasta keskkonda.

2, vaakumi aste on kõrge, vaakumi piirmäär on ≤ 1 Pa ja pumpamisvõimsus kõrgvaakumi piirkonnas on suur.

3 、 Korrosioonivastane disain on valikuline. Voolukanali osad on valmistatud titaanist, roostevabast terasest, nanokeraamikast, pihustatavast NIP-sulamist ja muudest materjalidest ning korrosioonivastastest katetest.

4 、 Kondenseeritavat gaasi ja väikest kogust tolmugaasi saab eemaldada ning konstrueeritakse automaatne puhastusseade.

5 、 Spetsiaalne võllitihendi konstruktsioon hoiab ära pumbatava keskkonna ja määrdeõli vastastikuse reostuse.

6、Muutuva sammuga kruvipump säästab energiat ja on madala müratasemega.

7 、 Töö on stabiilne, rootorile tehakse peen dünaamilise tasakaalu test ja töövibratsioon on väike.

8、Kõrge konfiguratsioon, suletud Saksamaal, SKF/NSK laager, 5. lihvimisaste.

Autoriteetne sertifikaat

Tugev tehniline tugevus, suurepärane varustus ja tooted, mida juhitakse rangelt vastavalt ISO9001 kvaliteedisüsteemile.