காட்சிகள்: 0 ஆசிரியர்: தள எடிட்டர் வெளியீட்டு நேரம்: 2024-07-17 தோற்றம்: தளம்
தொழில்துறை செயல்முறைகள் மற்றும் விஞ்ஞான ஆராய்ச்சிகளின் உலகில், ஒரு வெற்றிட சூழலை உருவாக்குவது பெரும்பாலும் அவசியம். ஒரு வெற்றிட பம்ப் என்பது ஒரு சீல் செய்யப்பட்ட அளவிலிருந்து வாயு மூலக்கூறுகளை அகற்றும் ஒரு சாதனமாகும், இதன் மூலம் ஒரு வெற்றிடத்தை உருவாக்குகிறது. ஒரு வெற்றிட பம்பின் செயல்திறனை ஒரு குறிப்பிட்ட அழுத்த வரம்பை அடைவதற்கான அதன் திறனால் அளவிட முடியும், இது பொருள் செயலாக்கம், வெற்றிட பேக்கேஜிங் மற்றும் ஆய்வக சோதனைகள் போன்ற பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு முக்கியமானது.
சரியான வெற்றிட பம்பைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கு அழுத்தம் வரம்புகளைப் புரிந்துகொள்வது அடிப்படை. வெற்றிட அமைப்புகள் பொதுவாக அவற்றின் இறுதி அழுத்த திறன்களால் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன:
குறைந்த வெற்றிடம்: வளிமண்டல அழுத்தம் முதல் 10^-1 mbar வரை அழுத்தங்களை அடையும் பம்புகள்.
நடுத்தர வெற்றிடம்: இந்த விசையியக்கக் குழாய்கள் 10^-1 mbar வரம்பில் 10^-3 mbar வரை இயங்குகின்றன.
உயர் வெற்றிடம்: 10^-3 mbar முதல் 10^-9 mbar வரை அழுத்தங்களை அடையக்கூடிய பம்புகள்.
அல்ட்ரா-உயர் வெற்றிடம் (UHV): 10^-9 mbar க்குக் கீழே அழுத்தங்களை அடையும் அமைப்புகள்.
ஒவ்வொரு வரம்பிற்கும் விரும்பிய வெற்றிட அளவை திறம்பட அடைய ஒரு குறிப்பிட்ட வகை பம்ப் தொழில்நுட்பம் தேவைப்படுகிறது.
திருகு வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய்கள் ஒரு வகை நேர்மறை இடப்பெயர்ச்சி பம்பாகும், இது இரண்டு அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட திருகுகளைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த விசையியக்கக் குழாய்கள் அதிக அளவு வாயுவைக் கையாளும் திறனுக்காக அறியப்படுகின்றன, மேலும் அவை தொடர்ச்சியான வாயு ஓட்டத்தை வெளியேற்ற வேண்டிய பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவை நடுத்தர வெற்றிட பயன்பாடுகளில் குறிப்பாக பயனுள்ளதாக இருக்கும், 1 mbar முதல் 10^-2 mbar வரம்பில் திறமையாக இயங்குகிறது. திருகு விசையியக்கக் குழாய்களின் தொடர்பு அல்லாத வடிவமைப்பு உடைகள் மற்றும் கண்ணீரைக் குறைக்கிறது, இது குறைந்த பராமரிப்பு தேவைகள் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கைக்கு வழிவகுக்கிறது.
வேர்கள் வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய்கள் மற்றொரு வகை நேர்மறை இடப்பெயர்ச்சி பம்பாகும், அவை சுழலும் இரண்டு மடல்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த விசையியக்கக் குழாய்கள் நடுத்தர வெற்றிட பயன்பாடுகளில் மிகவும் திறமையானவை, 1 mbar வரை அழுத்தங்களை அடைய திறன் கொண்டவை. உள் சுருக்க இல்லாமல் பெரிய அளவிலான வாயுவைக் கையாளும் திறனுக்காக அவர்கள் அறியப்படுகிறார்கள், இது வெற்றிட உலர்த்துதல், சிதைவு மற்றும் வெற்றிட வடிகட்டுதல் போன்ற பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. வேர்கள் பம்பின் வலுவான வடிவமைப்பு மற்றும் குறைந்த இயக்க செலவுகள் பல்வேறு தொழில்களில் இது ஒரு பிரபலமான தேர்வாக அமைகின்றன.
நீர் வளைய வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய்கள் ஒரு வகை இயந்திர வெற்றிட பம்பாகும், அவை ஒரு வெற்றிடத்தை உருவாக்க தண்ணீரின் வளையத்தைப் பயன்படுத்துகின்றன. பம்ப் ஒரு உறைக்குள் தூண்டுதல்களின் தொகுப்பை சுழற்றுவதன் மூலம் இயங்குகிறது, இது தண்ணீரை வளைய வடிவத்தில் வீசுகிறது. தூண்டுதல்கள் தொடர்ந்து சுழலும் போது, நீர் வளையம் வாயுவை சுருக்கி வெளியேற்றுகிறது. இந்த விசையியக்கக் குழாய்கள் குறைந்த வெற்றிட அளவை அடைவதில் பயனுள்ளதாக இருக்கும், மேலும் அவை பொதுவாக வெற்றிட வடிகட்டுதல், வெற்றிட ஆவியாதல் மற்றும் வெற்றிட வடிகட்டுதல் போன்ற பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. நீர் வளையம் ஒரு முத்திரையாகவும் குளிரூட்டியாகவும் செயல்படுவதால், செயல்முறை வாயு அரிக்கும் அல்லது துகள்களைக் கொண்டிருக்கும் பயன்பாடுகளில் அவை குறிப்பாக சாதகமானவை.
டிஃப்யூஸ் பம்புகள் அல்லது பரவல் விசையியக்கக் குழாய்கள், வாயு பரவலின் கொள்கையின் அடிப்படையில் செயல்படும் உயர் வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய்கள். அவை பெரும்பாலும் ஒரு முதன்மை பம்புடன் இணைந்து அதி-உயர் வெற்றிட நிலைகளை அடைய பயன்படுத்தப்படுகின்றன. பம்பில் ஒரு சூடான இழை உள்ளது, இது எலக்ட்ரான்களின் நீரோட்டத்தை வெளியிடுகிறது, இது வாயு மூலக்கூறுகளை அயனியாக்குகிறது. இந்த அயனிகள் பின்னர் எதிர்மறையாக சார்ஜ் செய்யப்பட்ட மின்முனையால் விரட்டப்பட்டு, வெற்றிட அறையிலிருந்து வெளியேற்றப்படும் வாயு ஓட்டத்தை உருவாக்குகின்றன. 10^-6 mbar க்குக் கீழே உள்ள அழுத்தங்களை அடைவதில் பரவக்கூடிய விசையியக்கக் குழாய்கள் மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும், இது எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி மற்றும் மேற்பரப்பு பகுப்பாய்வு போன்ற பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக இருக்கும்.
நகம் அமுக்கிகள் என்றும் அழைக்கப்படும் நகம் வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய்கள் , வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய்களின் துறையில் ஒப்பீட்டளவில் புதிய தொழில்நுட்பமாகும். வாயுவைக் கைப்பற்றவும் சுருக்கவும், அதிக செயல்திறன் மற்றும் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளை அடையவும் அவை ஒரு தனித்துவமான நகம் பொறிமுறையைப் பயன்படுத்துகின்றன. நகம் பம்ப் இரண்டு நகம் வடிவ ரோட்டர்களை சுழற்றுவதன் மூலம் இயங்குகிறது, அவை அவற்றின் மேற்பரப்புகளுக்கும் ஸ்டேட்டர் சுவருக்கும் இடையில் வாயுவை சுருக்கவும். இந்த வடிவமைப்பு நடுத்தர முதல் உயர் வெற்றிட நிலைகளை அடையக்கூடிய ஒரு சிறிய மற்றும் இலகுரக பம்பை அனுமதிக்கிறது. நகம் விசையியக்கக் குழாய்கள் அவற்றின் குறைந்த அதிர்வு மற்றும் இரைச்சல் அளவுகளுக்கு குறிப்பாக குறிப்பிடப்படுகின்றன, இது இந்த காரணிகள் முக்கியமான பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.
இந்த வெற்றிட பம்ப் தொழில்நுட்பங்கள் ஒவ்வொன்றும் தனித்துவமான நன்மைகளை வழங்குகின்றன மற்றும் வெவ்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றவை, தொழில்துறை மற்றும் அறிவியல் துறைகளில் கிட்டத்தட்ட ஒவ்வொரு வெற்றிடத் தேவைக்கும் ஒரு தீர்வு கிடைப்பதை உறுதிசெய்கிறது.