வெற்றிட பம்ப் தொழில்நுட்பத்தின் பல்வேறு வகைகள்

வெற்றிட பம்ப்: ஒரு கண்ணோட்டம்

தொழில்துறை செயல்முறைகள் மற்றும் அறிவியல் ஆராய்ச்சியின் துறையில், வெற்றிட சூழலை உருவாக்குவது பெரும்பாலும் அவசியம். ஒரு வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய் என்பது ஒரு சீல் செய்யப்பட்ட தொகுதியிலிருந்து வாயு மூலக்கூறுகளை அகற்றி, அதன் மூலம் வெற்றிடத்தை உருவாக்கும் ஒரு சாதனமாகும். ஒரு வெற்றிட விசையியக்கக் குழாயின் செயல்திறனை ஒரு குறிப்பிட்ட அழுத்த வரம்பை அடையும் திறனால் அளவிட முடியும், இது பொருள் செயலாக்கம், வெற்றிட பேக்கேஜிங் மற்றும் ஆய்வக சோதனைகள் போன்ற பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு முக்கியமானது.

வெற்றிட அமைப்புகளின் அழுத்த வரம்புகள் என்ன?

சரியான வெற்றிட பம்பைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கு அழுத்தம் வரம்புகளைப் புரிந்துகொள்வது அடிப்படை. வெற்றிட அமைப்புகள் பொதுவாக அவற்றின் இறுதி அழுத்த திறன்களால் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன:

• குறைந்த வெற்றிடம்: வளிமண்டல அழுத்தத்திலிருந்து சுமார் 10^-1 mbar வரையிலான அழுத்தங்களை அடையும் பம்ப்கள்.

• நடுத்தர வெற்றிடம்: இந்த பம்ப்கள் 10^-1 mbar முதல் 10^-3 mbar வரை செயல்படும்.

• அதிக வெற்றிடம்: 10^-3 mbar முதல் 10^-9 mbar வரை அழுத்தத்தை எட்டக்கூடிய பம்புகள்.

• அல்ட்ரா-ஹை வெற்றிடம் (UHV): 10^-9 mbar க்கும் குறைவான அழுத்தத்தை அடையும் அமைப்புகள்.

ஒவ்வொரு வரம்பிற்கும் ஒரு குறிப்பிட்ட வகை பம்ப் தொழில்நுட்பம் தேவைப்படும் வெற்றிட அளவை திறமையாக அடைய வேண்டும்.

வெற்றிட குழாய்களின் வகைகள்

திருகு வெற்றிட பம்ப்

திருகு வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய்கள் வாயுவை அழுத்தி வெளியேற்றுவதற்கு இரண்டு அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட திருகுகளைப் பயன்படுத்தும் ஒரு வகையான நேர்மறை இடப்பெயர்ச்சி பம்ப் ஆகும். இந்த விசையியக்கக் குழாய்கள் அதிக அளவு வாயுவைக் கையாளும் திறனுக்காக அறியப்படுகின்றன, மேலும் அவை தொடர்ச்சியான வாயு ஓட்டம் வெளியேற்றப்பட வேண்டிய பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவை நடுத்தர வெற்றிட பயன்பாடுகளில் குறிப்பாக பயனுள்ளதாக இருக்கும், 1 mbar முதல் 10^-2 mbar வரம்பில் திறமையாக செயல்படுகின்றன. ஸ்க்ரூ பம்ப்களின் தொடர்பு இல்லாத வடிவமைப்பு தேய்மானத்தையும் கண்ணீரையும் குறைக்கிறது, இது குறைந்த பராமரிப்பு தேவைகள் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கைக்கு வழிவகுக்கிறது.

வேர்கள் வெற்றிட பம்ப்

வேர்கள் வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய்கள் மற்றொரு வகை நேர்மறை இடப்பெயர்ச்சி விசையியக்கக் குழாய் ஆகும், அவை இரண்டு சுழலும் மடல்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த பம்புகள் நடுத்தர வெற்றிட பயன்பாடுகளில் மிகவும் திறமையானவை, 1 mbar வரை அழுத்தத்தை அடையும் திறன் கொண்டவை. அவை உள் சுருக்கம் இல்லாமல் பெரிய அளவிலான வாயுவைக் கையாளும் திறனுக்காக அறியப்படுகின்றன, இது வெற்றிட உலர்த்துதல், வாயுவை நீக்குதல் மற்றும் வெற்றிட வடிகட்டுதல் போன்ற பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. ரூட்ஸ் பம்பின் வலுவான வடிவமைப்பு மற்றும் குறைந்த இயக்க செலவுகள் பல்வேறு தொழில்களில் பிரபலமான தேர்வாக அமைகிறது.

வாட்டர் ரிங் வெற்றிட பம்ப்

வாட்டர் ரிங் வெற்றிடப் பம்புகள் ஒரு வெற்றிடத்தை உருவாக்க நீரின் வளையத்தைப் பயன்படுத்தும் ஒரு வகை இயந்திர வெற்றிட பம்ப் ஆகும். பம்ப் ஒரு உறைக்குள் தூண்டிகளின் தொகுப்பை சுழற்றுவதன் மூலம் செயல்படுகிறது, இது தண்ணீரை ஒரு வளைய வடிவில் வீசுகிறது. தூண்டிகள் தொடர்ந்து சுழலும்போது, ​​நீர் வளையம் வாயுவை அழுத்தி வெளியேற்றுகிறது. இந்த பம்புகள் குறைந்த வெற்றிட நிலைகளை அடைவதில் பயனுள்ளதாக இருக்கும் மற்றும் பொதுவாக வெற்றிட வடிகட்டுதல், வெற்றிட ஆவியாதல் மற்றும் வெற்றிட வடிகட்டுதல் போன்ற பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. நீர் வளையம் ஒரு முத்திரையாகவும் குளிரூட்டியாகவும் செயல்படுவதால், செயல்முறை வாயு அரிக்கும் அல்லது துகள்களைக் கொண்டிருக்கும் பயன்பாடுகளில் அவை குறிப்பாக நன்மை பயக்கும்.

டிஃப்யூஸ் பம்ப்

பரவலான விசையியக்கக் குழாய்கள் அல்லது பரவல் விசையியக்கக் குழாய்கள் வாயு பரவல் கொள்கையின் அடிப்படையில் செயல்படும் உயர் வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய்கள் ஆகும். அதி-உயர் வெற்றிட நிலைகளை அடைய அவை பெரும்பாலும் முதன்மை பம்ப் உடன் இணைந்து பயன்படுத்தப்படுகின்றன. பம்பில் ஒரு சூடான இழை உள்ளது, இது எலக்ட்ரான்களின் நீரோட்டத்தை வெளியிடுகிறது, இது வாயு மூலக்கூறுகளை அயனியாக்குகிறது. இந்த அயனிகள் எதிர்மறையாக சார்ஜ் செய்யப்பட்ட மின்முனையினால் விரட்டப்பட்டு, வெற்றிட அறையிலிருந்து வெளியேற்றப்படும் வாயு ஓட்டத்தை உருவாக்குகிறது. டிஃப்யூஸ் பம்ப்கள் 10^-6 mbar க்கும் குறைவான அழுத்தத்தை அடைவதில் மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும், இது எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி மற்றும் மேற்பரப்பு பகுப்பாய்வு போன்ற பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

க்ளா வெற்றிட பம்ப்

க்ளா கம்ப்ரசர்கள் என்றும் அழைக்கப்படும் க்ளா வெற்றிட பம்புகள் , வெற்றிட பம்புகள் துறையில் ஒப்பீட்டளவில் புதிய தொழில்நுட்பமாகும். அவை வாயுவைப் பிடிக்கவும் சுருக்கவும் ஒரு தனித்துவமான நகம் பொறிமுறையைப் பயன்படுத்துகின்றன, அதிக செயல்திறன் மற்றும் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளை அடைகின்றன. நகம் பம்ப் இரண்டு நக வடிவ சுழலிகளை சுழற்றுவதன் மூலம் செயல்படுகிறது, அவை அவற்றின் மேற்பரப்புகள் மற்றும் ஸ்டேட்டர் சுவருக்கு இடையில் வாயுவை அழுத்துகின்றன. இந்த வடிவமைப்பு நடுத்தர மற்றும் அதிக வெற்றிட நிலைகளை அடையக்கூடிய ஒரு சிறிய மற்றும் இலகுரக பம்பை அனுமதிக்கிறது. க்ளா விசையியக்கக் குழாய்கள் அவற்றின் குறைந்த அதிர்வு மற்றும் இரைச்சல் நிலைகளுக்கு குறிப்பாகக் குறிப்பிடப்படுகின்றன, இந்த காரணிகள் முக்கியமான பயன்பாடுகளுக்கு அவை சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன.

இந்த வெற்றிட பம்ப் தொழில்நுட்பங்கள் ஒவ்வொன்றும் தனித்தனி நன்மைகளை வழங்குகின்றன மற்றும் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது, தொழில்துறை மற்றும் அறிவியல் துறைகளில் கிட்டத்தட்ட ஒவ்வொரு வெற்றிடத் தேவைக்கும் தீர்வு இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.